- 记者从武汉光电国家研究中心获悉,该中心甘棕松团队采用二束激光在自研的光刻胶上突破了光束衍射极限的限制,采用远场光学的办法,光刻出最小9纳米线宽的线段,实现了从超分辨成像到超衍射极限光刻制造的重大创新。
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光制造技术 9纳米 光刻试验样机
- 台湾长久缺席的快闪存储器产业终于出现曙光,由于既有NAND Flash技术在20纳米制程以下面临天险,全球大厂纷竞逐下世代技术,近期国家纳米元件实验室(NDL)成功在R-RAM(Resistive Random-Access Memory)技术架构下,研发出全球最小的9纳米电阻式存储器,计划在2011年下半正式成立“16-8纳米元件联盟”,将广邀存储器厂及晶圆代工厂加入,首波会先洽谈台系存储器厂,目标5~10年内将此技术导入量产,让台湾正式加入NAND Flash产业战局。
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NAND 9纳米
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