- 全球半导体产业走入50奈米制程后,浸润式曝光机台(Immersion Scanner)出现大缺货,尤其是最新款的NXT:1950i机种上,交期几乎拉到快12个月,使得2010年才下订单的台系DRAM厂苦等多时;存储器业者透露,尔必达(Elpida)阵营开始转向采购旧机种XT:1950i应急。然美光(Micron)阵营则认为,旧机种顶多用到40奈米制程就是极限,不像新机种NXT:1950i可以一路做到30奈米。
半导体产业在进入50奈米以下制程,都必须开始用Immersion Scanner,此机
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Elpida DRAM 50奈米
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