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基于PGA900的薄膜微压传感器研究

本文基于溅射薄膜技术研制微压传感器，充分发挥溅射薄膜技术优势，通过改进芯体结构解决了输出灵敏度低的难题。使用PGA900信号调理器对薄膜微压传感器进行信号调理，通过内置算法实现传感器温度补偿和性能优化。经过试验验证，传感器的性能稳定、输出特性良好，达到了同类产品的较高水平。
关键字： PGA900 微压传感器溅射薄膜信号调理 202201

微压传感器具体应用说明

　　微压传感器在测量过程，即压力直接作用在传感器的膜片上，使膜片产生与介质压力成正比的微位移，使传感器的电阻发生变化，同时通过电子线路检测这一变化，并转换输出一个对应于这个压力的标准信号得过程。　　对于微压传感器来说，灵敏度和线性度是微压力传感器最重要的两个性能指标。为了制作出能够满足实际应用需求的传感器，必需探索出一种微压力传感器灵敏度和线性度的有效仿真方法。实际的研究中，发现一种基于对压阻式压力传感器薄膜表面应力的有限元分析(FEA)和路径积分的仿真方法。通过这一方法实现了在满量程范围内不同压力值
关键字：微压传感器膜片

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微压传感器介绍

　　微压传感器，亦称微压压力传感器，是一种用于测量微小压力的传感器，适用于介质压力微弱的场合的测量与控制。微压传感器的压力形式有表压、绝压、负压和差压，是工业实践中最为常用的一种压力传感器。　　微压传感器，其工作原理是被测介质的压力直接作用在传感器的膜片上，使膜片产生与介质压力成正比的微位移，使传感器的电阻发生变化，和用电子线路检测这一变化，并转换输出一个对应于这个压力的标准信号。　　1.量程: [ 查看详细 ]

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