- 微压传感器在测量过程,即压力直接作用在传感器的膜片上,使膜片产生与介质压力成正比的微位移,使传感器的电阻发生变化,同时通过电子线路检测这一变化,并转换输出一个对应于这个压力的标准信号得过程。
对于微压传感器来说,灵敏度和线性度是微压力传感器最重要的两个性能指标。为了制作出能够满足实际应用需求的传感器,必需探索出一种微压力传感器灵敏度和线性度的有效仿真方法。实际的研究中,发现一种基于对压阻式压力传感器薄膜表面应力的有限元分析(FEA)和路径积分的仿真方法。通过这一方法实现了在满量程范围内不同压力值
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微压传感器 膜片
膜片介绍
膜片 膜片
diaphragm
圆形膜状的弹性敏感元件。当膜片的两面受到不同的压力(或力)的作用时,膜片向压力低的一面应变移动,使其中心产生与压力差成一定关系的位移。膜片的形式主要有平膜片、垂链式膜片和波纹膜片三种。平膜片又可按周边是否固定支撑、中心是否开孔以及膜片区域受力分布状况的不同等分为多种形式,其中最常用的是由周边固定的等截面圆形薄板构成的平膜片。垂链式膜片由靠近边缘处开 [
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