MEMS在半导体产业发展中起关键作用

　　那么缩小尺寸是不是机会呢?“摩尔定律对MEMS不管用，”Ullal指出，“产品有一定的质量，不能缩小得太过。每个人都应该很清楚，摩尔定律如果没有全部过时，也正在趋于过时。在系统中添加功能的方式是通过三维集成。”

　　有这样一种观点：用户左右着MEMS产业，而不是像通常的半导体工业路线——通过展示产品的功能来积极提升产品的市场渗透率。“我们的行动有点慢，”Martin说。“如果我们想扩大市场，我们必须提供算法和软件给我们的客户，帮助他们。培训是我们的一大领域。我们用简化的办法解释五种运动传感器，然后在每个领域培训用户如何使用它们。这不是单向的、供应商—教育—客户的过程。我们已经认识到我们必须通过提供工具来发挥我们的作用，但是我们还得继续从我们的用户那里学习。”

　　Smyser补充道：“我们正在围绕我们的传感器进行算法、软件和系统开发。我们已经完成了跟体育和健身有关的工作，正在做导航和GPS产品。但是真正驱动我们的是客户，因为应用太多了。要及时跟上用户的需求是困难的，因为用户需求在不断变化。iPhone有许多功能，它们使用了内置的加速计，而用户希望在他们的设备上也能使用相同的功能。”

　　Ullal解释说，如果能了解一下半导体产业的历史，你会发现真正的晶体管应用是在晶体管发明的20年后才开始启动的。对MEMS来说经过20年的发展情形也会大不一样。“半导体产业和MEMS的区别在于，一直没有一种平台MEMS技术能让你使用大量不同的器件。为了使MEMS器件实现大范围渗透，你必须提供一个系统级的解决方案。做到这一点的关键技术是封装。你必须用单个封装提供解决方案，”Ullal表示。

　　Microvision公司就是一家MEMS客户。该公司已经开发出一种可以与移动设备一起使用的投影仪，这种投影仪集成了三个激光器和一个MEMS器件，将在2009年中期上市。Microvision公司销售及营销副总裁Ian Brown表示：“我们已经拿出了新的应用，并与供应商一道拿出了一个解决方案。对我们来说管理好潜在的突发量将更具挑战性。当一个手机公司推出一个新款时，它预计的供货量将是200至500万台。如果我们能参与进设计，我们必须在很短的时间内完成工作。”

　　Martin指出，针对MEMS产业集团(MIG)的热门话题是标准化。“产业还处在学习过程中。代工厂也在这个过程。我认为现在离MEMS标准工艺技术还有几年，而我们离半导体产业习以为常的CMOS技术那样的大规模标准化水平还有许多许多年。”

　　Eisenhut认为，应用的标准化程度比器件要高一些。该行业在过去几年中增长迅速的原因之一是标准的半导体加工设备存在一些共性。

　　“设备是通用的，大多数时候我们在寻找标准封装。Kionics选择了内部生产，这就是为什么我们能够与大企业在第一线消费电子产品市场中竞争的原因。随着时间的推移，这种情况可能改变。”Martin同意标准化将涉及接口和协议。“作为一个行业，我们需要充分利用这些优势，但我们最好不要限制这个行业，而是提供可以支持应用的差异化实现。”

　　那么，MEMS领域的代工厂可以像一般半导体商那样成功吗?美信公司的Ullal指出：“如果你想做代工模式，你真的需要很大的量。MEMS器件的量不大，从而为代工模式留下太多的变化。我相信在未来十年将至少有一个或两个版本的惯性传感器将在代工厂制造，但是现在，如果你需要最快的周转，你只好自己做。教代工厂如何做他们声称已经知道的工作将使你筋疲力尽。”

　　MEMS之后是什么?“纳米技术的有趣应用是真正的微型传感器，”Ullal指出，“MEMS可能在未来5至7年真的很热门，但为了能够真正实现小型化，必须结合纳米技术，这可能要十年。10年至15年后在实验室看到的自组装结构中将采用真正的微型传感器，它们几乎不要能量就能运行。”

　　“如果你现在不从事机械结构研究，你将错失未来的这种纳米结构，而且你必须去了解客户是谁、有什么应用以及如何建立这个产业，”Ullal总结道。