齿轮测量技术新进展
图11 激光全息齿面测量的结构图
图12 齿面测量实例
图13为在该仪器上测量大阪精机公司制造的齿轮渐开线样板的结果。所用测针的顶端曲率半径为2μm,因而可以测量齿面的粗糙度。图14为松下电器产业开发的采用原子力测头的超精密三维测量仪。由于测头按直线方向配置,故齿轮测量受到一定限制,但在测量限定齿数的齿轮样板时,其测量精度可达到纳米级。
图13 渐开线样板的测量
图14 超精密三维测量机
图11 激光全息齿面测量的结构图
图12 齿面测量实例
图13 渐开线样板的测量
图14 超精密三维测量机
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