设备零部件小巨人在京扩产，“车仪田”乘国产风口快速上扬

2026年1月16日，我国领先的半导体工艺在线测控解决方案提供商——上海车仪田科技有限公司，在北京亦庄经济技术开发区举行了“北京新工厂扩产启用仪式暨媒体开放日活动”。车仪田科技创始人兼CEO张黎明和北京车仪田科技CEO倪志松接受了EEPW等媒体记者的采访。 

据悉，上海车仪田成立于2022年6月，专注于等离子体光谱分析、高精度温度测控、气体浓度分析及真空阀门等核心技术，先后推出多款填补国内空白的终点检测系统、气体分析仪及多场集成解决方案。作为国内半导体设备龙头公司的光电类零部件战略供应商，截至2025年，公司产品累计出货量近5000台，国内市场占有率超20%，年营收更是突破亿元！ 

此次北京新工厂的扩产标志着车仪田在半导体加热与温控领域的产能布局、工艺升级与客户服务能力实现跨越式提升。北京新工厂占地面积近10,000平方米，规划建设16条加热带自动化生产线，年产值目标直指5亿元。北京新工厂分为几个阶段，一期投资额为5,000万元，今年第一年要完成营收6,000万元的目标。未来3年内计划投资1亿元左右。新工厂的选址在我国集成电路产业的重镇——北京亦庄，与中芯国际、北方华创等fab厂、设备厂紧邻，对服务客户提供了便利条件；另外，上海车仪田在北京有了桥头堡，可以更快地提供售后维修等服务。这样，公司在北京与上海两地深化布局，建立起包括等离子体终点检测、高精度温度测控、气体浓度分析、真空阀门等在内的完整技术体系。

1 获得“泼天的富贵”的秘诀

车仪田2022年6月才成立，为何在短短3年半时间内获得了爆发式的成长？未来还有数亿元产值的宏伟蓝图？主要有两方面的原因：一是技术上有很多积累和创新；另外在宏观上，正赶上我国半导体产业蓬勃发展的大好契机，以及国际地缘政治的影响。

具体来说，车仪田核心团队有数十年的行业深耕与产品产业化的经验，例如车仪田科技创始人兼CEO张黎明先生过去是海外零部件的使用者，对技术和应用场景非常熟悉。然而遗憾的是，那时业界对国产设备不太认可，国产零部件厂商即便把技术做得再扎实也无用武之地。转机是过去几年，我国半导体产业受到过贸易制裁，以及缺芯、供应链短缺等影响，加快了国产设备及零部件的认可度，尤其是2024年年底美国新一轮制裁把国内几乎所有主流半导体设备厂商拉进制裁清单之后，使得设备厂和fab公司几乎买不到美国零部件了，才有机会把车仪田的业务拉上来。

未来，车仪田在国产替代方面还有很长的路要走。因为国产零部件在设备上的应用比例还很低，目前还只是用在很少的环节上，诸如在线检测、加热带等领域，约占行业20%的市场份额。车仪田希望通过“技术引领”与“规模交付”并行的双轮驱动，把这个百分比继续提升。

车仪田科技创始人兼CEO张黎明（左1）和北京车仪田科技CEO倪志松（左2）与媒体记者

2 北京新工厂如何提升效率和品质

实际上，2024年北京车仪田就在顺义成立了，拓展了半导体加热带业务，此次又在亦庄又建立了新工厂。按道理，像车仪田这样的劳动密集性较高的企业不太适合在北京建厂，因为北京的人力成本偏高。为此，车仪田计划通过对机器设备、新工艺的引进，甚至自动化线的引进来提高生产率，希望与此拉开与竞争对手的差距。实际上，车仪田也一直是这么做的，从最开始到现在，整体人员效率已经提高了1.5倍。

产品的一致性是非常重要的。车仪田的产品品类繁多，定制化程度高，为一致性的提升带来了难度，为此，车仪田主要通过机器的参与和设计理念的加持来保证一致性。

车仪田的加热带产品对标的是国外/瑞士一家很成熟公司的产品。车仪田的特色是什么呢？北京车仪田科技CEO倪志松指出，现在行业里有一个很大的问题，最近几年从较高制程向较低制程快速演进，例如从28纳米到7纳米、5纳米，对加热带的要求也越来越高。主要有两个点：一是温度的均匀性；另一个是在高温时，材料或颗粒释放的程度。从颗粒释放上，因为现在很难拿到国外的产品，难以评判；但是在国内同行中，车仪田应该是国内首家提出可以在200℃持续使用时不去释放颗粒的，这也是车仪田一个现在较强的优势。另外，在温度均匀性上，这也是车仪田目前在做的，在国内同行里是靠前的。

对于加热带最核心的技术——控制和均匀性，北京车仪田在控制上很早就开始做相关业务，做了很多检测和测试设备；另外是在生产过程中，陆续引入半自动化和全自动化的设备。

加热带产品

3 从追赶到形成优势

相比国外，整体上车仪田等本土厂商还是在追赶国际厂商。国际上的传统厂商有很多亮点，包括在安全性和可靠性上。本土厂商还需要一些时间去积累。好在过去本土厂商没有应用环境——客户不给你机会，本土厂商没法去试用和改进，现在是客户催着本土厂商去改进、尝试，促使本土厂商在加速前行，而且由于国产设备的要求也比过去高了，所以促使本土产品在性能上越来越强。 

● 有时国产零部件的起步比国外更高。车仪田科技创始人兼CEO张黎明先生20年前用国外零部件的时候，国内的产品很难进入，但那时人们觉得这是正常的。但是现在国内的设备公司对零部件的要求是按照成熟标准来提出的——对国产零部件的要求非常高，甚至高过国外的产品，因此对国内零部件的性能指标/稳定性等非常苛刻。

● 在新产品开发上，车仪田在性能指标、尺寸上更有优势。当前我们的fab和设备厂商现在用的海外零部件大部分是海外公司的成熟产品，有的还是十几年前就已经定型的产品，这些老产品也存在一些问题，例如所用的元器件体积较大，技术也较老。车仪田在芯片、电子等方面的技术每年都在提升，甚至是翻倍式地成长，相比之下，海外十几年前的技术较为落后，车仪田有时为了对标海外老产品，还得去找旧的零部件。

● 在成本上，本土产品肯定比海外便宜很多，因为海外零部件的价格高，通常不是因为材料成本高，而且因为整体利润很高。

4 向“国产化2.0”奋楫前行

现在半导体产业链有一个热门话题叫“国产化2.0”。在“国产化1.0”阶段，主要依赖行政力量与安全焦虑的推动，部分国产产品以“备胎”存在，目标是实现特定元器件的对标和替代，性能与成本未必最优。到了“国产化2.0”阶段，更倚重以建链、强链、补链驱动产业高质量发展。从车仪田角度，在“国产化2.0”方面做了哪些探索和尝试？

● 建链

车仪田也有产业链协同进化的任务与使命。在目前还没有被替代的材料与元器件方面也有任务去找到国内的供应商，然后验证他们的产品。相信两三年内，上游厂商的产品也会逐渐引入，这是大趋势。

而且上游做的一些产品在性能指标上已经不比海外差了，只是应用基础比较薄弱，客户的认可度还没有起来，这是一环扣一环的，但是最终的大趋势是：中国的产品可以有充分的自信，在性能等各方面会越来越完备，价格也便宜，服务也越来越周到。

● 强链

车仪田科技创始人兼CEO张黎明指出，“国产替代2.0”的基因从一开始就存在。车仪田最初跟客户沟通的时候，客户在用产品时，除了有可能会被卡或者真的就被断供了，还有一个诉求就是过去用海外零部件时缺乏售后，也没有定制，所以想改一点设计很困难。在这个点上，车仪田的优势就体现出来了。而且国内设备公司现在有很多自己的想法，甚至超越了海外，因此对零部件提出来了要做一些更先进的功能，来支撑它们的先进设备。

北京车仪田科技CEO倪志松称，从北京车仪田的加热带产品角度看，往上的提高更多的还是要围绕客户的需求，这才是最终的一个根本，不能脱离了客户的需求去做研发，否则是无根之木。所以车仪田要跟客户紧密地结合，把他们在现场端的实际诉求转化成我们的创新产品。

● 补链

车仪田也在不断扩展业务。2022年，公司成立之初便推出OES终点检测系统填补国内空白；2023年乘势而上，气体分析产品成功落地，当年获头部客户“金牌供应商”认证；2024年北京车仪田成立，进一步拓展了半导体加热带业务。2025年车仪田战略收购上海近硕并整合真空阀门业务，实现产品生态关键补位；集团全年累计出货量近5000台，年营收突破亿元大关！

车仪田的产品组合

未来这种扩张并购的势头还会持续。因为这种整合也是基于一些客户的需求，因为半导体设备的泵上面有上千个零部件，如果每个零部件有一家供应商，需要1000多家的供应商，而且各家的品质管控也无法统一，导致设备商的成本会很高。所以设备商会倾向于把零部件采购集中到很少数的几家。从国际上看，这也是行业的大势所驱，国际零部件巨头都是逐渐整合起来的。

其次，车仪田的定位是在线测控类的零部件，这类零部件带有软件算法的部分，这也是车仪田的优势所在。车仪田从品质管控到技术储备等方面都做了充分的铺垫，这样对未来去做外部的整合也是有基础的。所以车仪田会沿着这个思路去拓展。 

总体上，国内在这短短几年时间，已经在走“国产化2.0”这条路，2.0已呼之欲出，这个速度甚至比预期的还要快。同时，“国产化2.0”也是水到渠成的，只要车仪田等本土厂商在这个大趋势里做好自己，随着设备和fab客户的成长，相信会自然而然地成长到2.0，客户也会释放出这个机会给车仪田等上下游厂商的。