Fourier变换轮廓术中参数的选择和优化研究
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为了进一步说明经参数选择和优化的优越性，在标定的基础上得出以下的误差图：标定行程为10 cm，步进电机携标定板每次移动10 mm，这样在10 cm的行程中总共采集11组图片，分别为50，40，30，20，10，O，一10，一20，一30，一40，一50(mm)。选取10 mm处的图片进行分析，可得到如图13所示的标准差图，从图中发现，实际高度为10 mm的平面，在测量下其高度分布在9．97～10．005 mm之间，其误差在0．03 mm以内。实验测得标准差为0．022 5 mm。
4 结 语
在参数选择和优化过程中，需注意夹角越大测量精度越高，但是夹角过大，会使得视场变小，视场变小会影响测量范围，增大误差，因此需压缩夹角。经过多次试验，夹角在20°～30°效果最好，精度最高；利用等效波长的概念，压缩夹角，提高投影光栅的空间频率，这样既可以保证系统的测量精度，又可以保证系统的视场范围。同时，进行空间带宽积的合理选择，以及滤波、相位展开等处理，进一步提高了FTP的测量范围的同时，系统的测量精度也得到了保证，达到两全其美的效果。
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