国产LED生产设备将亮相秋季中国电子展

　　图2就是青岛华旗科技的一款适用于化合物半导体-LED/半导体照明等科研领域的外延及晶体生长MOCVD系统。该系统由生长室、气源、气体控制系统、真空系统、整机的计算机控制系统等组成，系统各工艺参数均可由计算机自动控制(WINDOW 界面)。该产品可满足2"多片晶圆，支持GaN/GaAs等薄膜工艺、采用电阻加热/感应加热的结构形式，生产能力为2英寸1、3、6片。另外，该公司还承担了部分国家863项目(如半导体白光照明GaN生长的HVPE设备等)。

　　赛瑞达公司除了一系列太阳能专用设备之外，也开发了几款LED生产设备，包括LED专用扩散炉和专用合金炉。其LED专用扩散炉和专用合金炉关键件全部采用进口件，具有高可靠性和高抗干扰能力，具有可编程的升、降温功能，以及有断电报警、超温报警、极限超温报警等多种安全保护功能。可存储九条工艺曲线，每条工艺曲线最多有九步，曲线间可以任意链接、重复。另外还具有多种工艺管路，可供用户随意灵活配置。赛瑞达可为客户提供斜滚式推拉舟系统，石英双杆推拉舟系统及SiC浆推拉舟系统的灵活选择。

　　上游设备的成功本土化离不开下游外延芯片厂、LED封装厂、模块乃至灯具供应商、后端设备商的配合与支持。据悉，本届秋季中国电子展，汇集了真明丽、深圳市稳亮电子、李洲科技、宁波升谱电子、常州爱立德电子、台湾亿光电子、金台电子等众多大中小型LED企业，以及田中精机、昆山具良、日特机械工程、华胜科技、上海富荣电子等一大批后端生产设备商，并专门开辟了LED照明展区，为产业上下游的互动提供了良好的互动平台，有利于促成他们之间的合作。当然，就像有些专家指出的，MOCVD等关键装备的国产化也是一件体现国家意志的事情，建议国家大力地投入，全面地支持去做这件事，特别要注意工艺与设备的结合，要鼓励外延芯片厂商应用国产设备，同时要给予一定的资助。