Mattson Technology获得光刻胶剥离系统新订单

　　先进半导体工艺设备供应商Mattson Technology日前宣布从一家亚洲新客户处获得了Suprema光刻胶剥离系统订单。该系统可用于先进逻辑器件生产，包括前端工艺及后端工艺。预计这些系统将于第四季度出货。