Rudolph Technologies获MEMS检测设备订单 作者: 时间:2010-07-14 来源:Rudolph 加入技术交流群 扫码加入和技术大咖面对面交流海量资料库查询 收藏 工艺表征设备和软件供应商Rudolph Technologies宣布,其NSX Series Macro Inspection System获得了来自德国ISIT的订单,用于先进MEMS工艺的开发。该设备将于今年夏天安装于ISIT的先进200mm MEMS试水线上。
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