诺发推出业界首套UVTP量产系统 —— 作者： 时间：2006-01-30 来源： 加入技术交流群 扫码加入和技术大咖面对面交流海量资料库查询 收藏 <a href='https://ad.eepw.com.cn/www/delivery/ck.php?n=a635e61e&cb=INSERT_RANDOM_NUMBER_HERE' target='_blank'><img src='https://ad.eepw.com.cn/www/delivery/avw.php?zoneid=88&cb=INSERT_RANDOM_NUMBER_HERE&n=a635e61e' border='0' alt='' /></a> <a href='https://ad.eepw.com.cn/www/delivery/ck.php?n=a576c0a2&cb=INSERT_RANDOM_NUMBER_HERE' target='_blank'><img src='https://ad.eepw.com.cn/www/delivery/avw.php?zoneid=87&cb=INSERT_RANDOM_NUMBER_HERE&n=a576c0a2' border='0' alt='' /></a> 诺发系统有限公司推出了SOLA™—业界首套针对先进介电薄膜的淀积后处理的紫外热处理（UVTP）系统。它是实现晶体管水平高应力氮化硅薄膜和互连层致密性或多孔性低–k介电材料等许多先进薄膜应用的关键设备，结合了紫外光与热处理相，使薄膜材料的淀积后处理可在450
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