TERAVICTA：MEMES的老兵新传

虽然MEMS技术已经诞生了很长时间，但以前一直只在光学领域的应用严重限制了MEMS的普及应用。随着技术的发展，MEMS已经在光学之外找到了新的天地，Tera Victa正是瞄准其专注的MEMS技术焕发新生的时机创立的。
MEMS将电子系统和外部世界有机地联系起来，它不仅可以感受运动、光、声、热、磁等自然界信号，并将这些信号转换成电子系统可以认识的电信号，而且还可以通过电子系统控制这些信号，进而发出指令，控制执行部件完成所需要的操作。从广义上讲，MEMS是指集微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、接口电路、通信和电源于一体的完整微型机电系统。MEMS技术的目标是通过系统的微型化、集成化来探索具有新原理、新功能的元件和系统。MEMS技术开辟了一个全新的领域和产业。它们不仅可以降低机电系统的成本，而且还可以完成许多大尺寸机电系统无法完成的任务。与有活动部件的MEMS相比，固定开关有先天的优势。但是单晶硅材料即使在十亿次的开关之后也没有任何的老化现象，这已经远远超出了ROADM的实际需要。 
 
其实MEMS制作并不复杂，设计起来也非常简单，开关制作与半导体极为相似，是一层接一层进行制作的。通过PCB板可以实现开关打开时不接触而在关闭时上下两层合到一起实现导通控制。因为MEMS是由静电驱动的，所以不需要电流。而且由于避免了多晶硅材料上大量的蚀刻缺陷，单晶硅反射镜对光的散射损耗大为减小。正是因为与半导体相似的制作工艺决定了MEMS产品的尺寸和成本可以跟上半导体的制程变化，从而带来了光明的发展前景。
不过，从2000年到2006年，MEMS一直没有被充分认可为足够可靠的商用产品致使该技术一直停留在热烈的讨论阶段，但2007年开始情况大为改观。Tera Victa公司将推出26.5 GHz的MEMS开关，适用于数字电视、卫星通信和定向雷达等领域。