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UHD面板带动铜电极制程面板量产

作者:时间:2014-07-28来源:中华液晶网收藏

  直到2000年代中期,除Sharp之外,大部分的TFT-LCD制造商采用铝或AI(钼Mo或钼合金)于gate与S/D电极上,虽然也有部分设备采用铬(Cr),但90%以上设备仍以AI为主。随着电视尺寸的大型化,电极需要更低的电阻金属,因此提高了对铜(Cu)电极的需求。

本文引用地址:http://www.eepw.com.cn/article/256179.htm

  铜电极与AI相比其导电率较高,若将配线的粗细制做得相对较细,也几乎不会产生电子信号失常的现象,且能够传送稳定信号。由此可以改善响应速度及亮度等问题。另外,在大尺寸TV制造过程更显优势,将不再为了改善导电率,增加其他附加的材料或制程。因此,许多厂商投入大量研发于铜电极制程的量产。

  LGDisplay自2006年开始,为全球第一家厂商将铜电极导入其量产产线之中。并且,LGD在2008~2009年大幅提高了铜电极的应用比重,直至目前大部分的产品均已采用铜电极制程。在LGDisplay引进铜电极之后,三星Display,AUO,Innolux,PanasonicLCD,Sharp等企业也开始跟进铜电极制程,但直至2010年为止,除LGDisplay以外,尚无企业能顺利量产铜电极制程的面板。

  2010年下半年起,三星电子(现三星Display)为全球第二家厂商开始将铜电极应用于产线,但经历诸多困境,在产线扩大应用方面,花费许多时间,2013年以后,三星Display终于也在大部分的量产产线中采用了铜电极。虽然早期对S/D的铜电极采用比重极为低,但近期在S/D电极上采用铜电极的比重正在大幅提高。除LGDisplay以外的其他企业,虽然也都认知到铜电极的必要性,正不断地对其进行着研究开发,但自LGDisplay采用后,只少需要花五年以上的时间来实现铜电极的应用。但随着面板分辨率的飞跃性发展与面板量产的开始对铜电极的必要性正逐渐被放大。

  据了解,为迎合目前的市场氛围,三星Display正将铜电极应用的比重大幅增加,而台湾的AUO在经历过长期开发之后,最终也从2013年正式开始将铜电极应用于量产产在线。另外,随着2013~2014年面板的生产开始增加后,正准备实施面板批量生产的中国面板制造商,也正努力研究产线中铜电极的应用。同时,2014年CSOT与BOE已计划将铜电极应用于部分设备上。

  由于UHD面板的畅销,铜配线的必要性也随之变大。据此主要TFTLCD面板制造商,正扩大对铜配线的应用或正处于导入的准备之中。由此可推断铜将成为TFTLCD面板配线的主流。

  在IHS近期发行的“TFTLCD面板的铜电极适用动向”报告书中探讨了铜电极应用扩大的趋势,主要TFTLCD面板制造商(LGC,SDC,AUO,INX,BOE,CSOT)的铜电极采用现状及其开发动向。本报告书中分析了面板制造商的产线别铜电极应用现状,铜电极应用结构,铜电极结构及根据设备而定的生产比重,已导入铜电极的主要面板金属层结构(厚度及物质)等。另外,也展望了2014~2015年各面板制造商对铜电极的产线别应用变化。



关键词: UHD 面板

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