- 比利时微电子研究中心（imec），于本周举行的2022年IEEE国际超音波会议（International Ultrasonics Symposium），展示了新型压电式微型超音波换能器（pMUT）数组，它能与平面显示器（FPD）制程技术兼容。新型数组可以隔空感测高于1kPa的声压，满足隔空触觉与指向声波应用。 （A）包含22个直径为500μm环形pMUT的相控数组大范围影像（B）细部影像此次开发的pMUT技术不再聚焦晶圆制程，而是朝向与平面显示器技术兼容的方向发展，方便将来与隔空感测应用整合，
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隔空触觉 imec 超音波数组
隔空触觉介绍
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