InGaAs(铟镓砷)雪崩光电二极管(APD)是一种利用InGaAs半导体材料特性的光电探测器,主要用于检测红外光谱中的光信号。APD通过一种称为雪崩倍增的内部增益机制将光信号转换为电信号,从而放大微弱的光信号。这使得它们具有高灵敏度,适用于需要检测低光强的场合。InGaAs APD由多层结构组成(见图1),通常包括一个InGaAs吸收层和一个由不同材料(如AlGaAsSb)制成的倍增层,该材料与InP衬底晶格匹配。吸收层是光子被吸收并产生电子-空穴对的地方。InGaAs APD的工艺结构图1. InGa