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金键合 文章 进入金键合技术社区

对使用铜丝键合的功率MOSFET进行失效分析

  • 摘要：由于铜丝键合可以替代金键合，价格又便宜，正在被越来越多地应用到微电子元器件当中。目前的情况表明铜是可行的替代品，但是证明其可靠性还需要采用针对铜丝键合工艺的新型失效分析(FA)技术。
  • 关键字： 铜丝键合  MOSFET  金键合  失效分析  金属层  201308  
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金键合介绍

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