- 目前,LED实现白光的方法主要有三种:1、通过LED红绿蓝的三基色多芯片组和发光合成白光。优点:效率高...
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LED 白光 紫外光
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1月16日,中国科学院上海光学精密机械研究所“极紫外光刻机光源技术研究”项目通过验收,这标志着我国在下一代芯片工艺核心技术——极紫外光刻(EUVL)光源转换效率上已达国际先进水平。 作为一种新型的微电子光刻技术,“极紫外光刻”以波长为13.5纳米的“软X射线”为曝光光源,最终将成为生产更细线宽集成电路的主流技术
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中科院 紫外光 其他IC 制程
紫外光介绍
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