- 1 前言鉴于超声波清洗效果好、效率高、成本低等优点,超声波清洗机被广泛应用于电子、机械、钟表、光学、医疗、化纤、电镀等行业[1]。在超声波清洗设备中,超声波电源是其重要组成部分之一。现有的超声波电源大多数采
- 关键字:
电源 研制 清洗 超声波 大功率 智能
- 中心议题:
半导体清洗技术的进展
当前与未来的挑战
解决方案:
湿法清洗
广泛使用臭氧水
晶圆清洗是半导体制造典型工序中最常应用的加工步骤。就硅来说,清洗操作的化学制品和工具已非常成熟,有多年广泛深入的研究以及重要的工业设备的支持。所以,硅清洗技术在所有具实际重要性的半导体技术中是最为成熟的。第一个完整的、基于科学意义上的清洗程序在1970年就提出了,这是专门设计用于清除Si表面的微粒、金属和有机污染物。
此后,硅清洗技术经历了持续的发展改进,包括早期用气相等
- 关键字:
半导体 清洗
- 精密清洗产品以及清洗服务供应商ZESTRON向外界公布其对沈健(John Shen)为中国区总经理的任命。
沈先生将在其新的职位上继续拓展ZESTRON在中国以及北亚地区作为清洗工艺供应商的领导地位。
ZESTRON亚洲区资深副总裁Ralph Ho
- 关键字:
ZESTRON 清洗
清洗介绍
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