- 1前言透明导电氧化物薄膜(TCO薄膜)有着广泛的用途，如作为LCD、OLED显示器面板的电极，作为触摸屏的感应电极，作为薄膜太阳能电池的电极以及作为LED芯片前电极等[1]。目前，主要的TCO薄膜有氧化铟锡(ITO)、氧化锡(Sn
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电源技术 薄膜 TCO 沉积 磁控
- 对于SOl波导来说，CVD技术一般用来淀积其上包层，通常为二氧化硅或氮化硅。对于调制器等有源器件来说，这一层还起着隔离金属电极减小电极对波导造成损耗的作用，所以厚度一定要选择合适，不能太薄，如果薄了就不能起
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工艺 特点 沉积 气相 SOl 化学 波导
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