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有源像素
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用于通用X射线应用的晶圆级有源像素CMOS图像传感器
摘要: 本文以使用标准CMOS技术和有源像素架构的CMOS有源像素传感器为研究对象。该传感器专为X射线成像系统而设计,具有噪声低和感光度高等特点。这种传感器已使用标准0.35μm技术和8″晶圆得到生产。传感器分辨率为每40 x 40μm2 面积3360 x 3348像素。其对角长度略大于190mm。本文对传感器的图纸设计、拼接图和已得到开发的电子光学性能进行了论述。 &nbs
关键字:
CMOS
X射线
电源技术
晶圆级
模拟技术
图像传感器
有源像素
其他IC
制程
设备诊断类
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