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干膜光刻胶技术 文章 进入干膜光刻胶技术技术社区

泛林集团在提高EUV光刻分辨率、生产率和良率取得技术突破

  • 泛林集团与阿斯麦 (ASML) 和比利时微电子研究中心 (imec) 共同研发的全新干膜光刻胶技术将有助于提高EUV光刻的分辨率、生产率和良率。
  • 关键字： 泛林  EUV  干膜光刻胶技术  
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干膜光刻胶技术介绍

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