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工信部推广国产DUV光刻机，最小套刻精度≤8nm

• 大半导体产业网消息，自中华人民共和国工业和信息化部官网获悉，日前，工信部宣布印发《首台（套）重大技术装备推广应用指导目录（2024 年版）》。其中，在《首台（套）重大技术装备推广应用指导目录（2024年版）》电子专用装备目录下，集成电路设备方面包括：氟化氩光刻机，光源193纳米，分辨率≤65nm，套刻≤8nm。在“工信微报”官方公众号中提到，重大技术装备是国之重器，事关综合国力和国家安全。中国首台（套）重大技术装备是指国内实现重大技术突破、拥有知识产权、尚未取得明显市场业绩的装备产品，包括整机设备、核心系
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