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光刻胶剥离 文章 进入光刻胶剥离技术社区

Mattson Technology获得光刻胶剥离系统新订单

  • 　　先进半导体工艺设备供应商Mattson Technology日前宣布从一家亚洲新客户处获得了Suprema光刻胶剥离系统订单。该系统可用于先进逻辑器件生产，包括前端工艺及后端工艺。预计这些系统将于第四季度出货。
  • 关键字： Mattson  光刻胶剥离  
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光刻胶剥离介绍

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