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诺发推出业界首套UVTP量产系统

  • 诺发系统有限公司推出了SOLA™—业界首套针对先进介电薄膜的淀积后处理的紫外热处理（UVTP）系统。它是实现晶体管水平高应力氮化硅薄膜和互连层致密性或多孔性低–k介电材料等许多先进薄膜应用的关键设备，结合了紫外光与热处理相，使薄膜材料的淀积后处理可在450
  • 关键字： UVTP  量产系统  诺发  
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uvtp介绍

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