- SUSS MicroTec AG的全资子公司HamaTech APE GmbH & Co. KG近日宣布，已接到几十份MaskTrack Pro设备订单。MaskTrack Pro于2009年投产，是用于下一代光刻领域的完整掩膜流程平台。
对于亚22nm 193nm浸没式光刻、EUVL深紫外光刻、NIL接触式纳米压印技术等先进光刻工艺的掩膜版，MaskTrack Pro是目前已知唯一可以实现清洗、烘烤和显影步骤的设备。MaskTrack Pro结合物理和化学清洗技术，能有效去除有机和无机
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HamaTech 光刻
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