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半导体FTIR外延膜厚量测设备实现新突破!

  • 9月14日,盖泽华矽半导体科技(上海)有限公司(以下简称“盖泽半导体”),两台自主研发的FTIR膜厚量测设备GS-M08X,正式交付两家客户作为一款量产设备,该机种基于FTIR红外光谱技术,可以精准测量晶圆中多层外延层的厚度,提供高精度的量测结果。设备装配了双臂洁净机械手和全新设计的Stage平台,以及自主研发的光路系统及算法,能更大程度上兼容客户应用场景,也让测量效率大幅度提高。增加了Online在线技术,遵循SEMI标准协议,可无缝连接客户OHT/MES等系统。同时,设备实现测量自动化控制和自动化运行
  • 关键字: 半导体  FTIR  外延膜厚  量测  

基于光学感应的大尺寸多点触摸控制技术

  • 本文介绍了多点触摸控制系统的基本原理,分析了常见的基于光学感应的多点触摸实现方案,深入研究了基于Touchlib的多点应用系统框架,及其与上层应用程序之间的数据传送协议和方法,并给出了一种基于70寸高清背投电视的大尺寸光学感应多点触控应用系统解决方案。
  • 关键字: 康佳  多点触摸  FTIR  LLP  Touchlib  200909  
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