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euvl基板 文章 进入euvl基板技术社区

台积电加入EIDEC联盟

  • 　　台积电与日本瑞萨电子(Renesas)决定加入以研发次世代半导体制造技术为目标的EUVL基板开发中心(EIDEC)。EIDEC是由东芝(Toshiba)领军，由11间日本企业共同出资设立，致力于研究深紫外线(EUV)微影技术。 　　
  • 关键字： 台积电  EUVL基板  
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euvl基板介绍

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