- Axcelis Technologies 近日推出了一款全新的高束流离子注入设备，精准面向下一代半导体制造需求。公司表示，其 Purion H6 系统旨在为先进制程节点提供更高纯度、更精密的工艺控制以及更强的生产效率。对于关注半导体设备创新的《eeNews Europe》读者而言，此次发布意义重大：离子注入仍是逻辑芯片、存储器、图像传感器及成熟制程中不可或缺的关键工艺步骤。在剂量控制精度、污染抑制和产能方面的改进，将直接影响晶圆厂的良率、拥有成本（Cost of Ownership）和整体运营效
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