- 从2007年到2012年，MEMS市场的年复合增长率将达到14%。为了满足市场需求，MEMS企业和Foundry（晶圆代工厂）都在提高生产制造水平，扩大自己的产能。而MEMS的制造也将从现在的5英寸和6英寸线向8英寸线转移。意法半导体开始应用其8英寸制造设施，欧姆龙、飞思卡尔等企业开始购买或建立8英寸MEMS生产线。
MEMS（微机电系统）产品以前多被应用到国防工业和汽车上，但在去年它被成功应用到游戏机Wii上，而引起市场的广泛关注。市场调研公司Yole预测，2008年，MEMS全球市场将达到7
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- 介绍了一种新型的加速度传感器ADXL203。具体分析了该传感器的性能与工作原理，并且通过TI公司的TMS320LF2407DSP实现了输出信号的处理和分析。设计了三轴的加速度的测量，进而确定物体运动的位移与轨迹。
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- MEMS在国内的市场非常大，但目前国内从事MEMS产业化的企业还非常少，国内要发展MEMS产业应该得到国家政策及资金支持。
去年，MEMS惯性传感器在消费类产品中的应用迅速增长，今后，我们认为MEMS压力传感器也将慢慢打开国内市场。而国内发展MEMS需要政府在政策、产业环境和投资环境等方面加以引导。
iPhone和Wii带动MEMS发展
随着iPhone和Wii这两
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- 市场研究机构Frost & Sullivan公司最新报告称，目前MEMS测试设备价格高昂，低成本标准化成迫切需求。
报告称，2007年全球MEMS测试设备市场额为5650万美元，而到2014年将增长到1.202亿美元。目前MEMS器件制造商必须面对高昂的设备价格（约100万美元），设备的专用化（customization）也导致了卖主进一步增加成本，另外，MEMS测试设备缺乏灵活性，多数仅能进行电学测试或机械测试。
因此，多数MEMS厂商除非必须才会购买测试设备，而多数用户
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MEMS 测试设备
- MEMS第一轮商业化浪潮始于20世纪70年代末80年代初，当时用大型蚀刻硅片结构和背蚀刻膜片制作压力传感器。由于薄硅片振动膜在压力下变形，会影响其表面的压敏电阻走线，这种变化可以把压力转换成电信号。后来的电路则
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发展历史 技术 MEMS
- 在仿生推进机理的研究中，精确测量鱼类尾鳍拍动参数对于鱼类仿生推进机理研究及工程应用具有重要的意义;然而，目前研究者大多采用分析高速摄像机拍摄的图像获得参数的观测方法。这种方法受到环境与设备的限制，结果精确度较差。本设计是一种基于MEMS器件的生物运动微惯性测量装置。利用该装置实现了对SPC-III机器鱼尾鳍拍动参数的精确测量，为国内首次利用MEMS器件进行的活体鱼尾鳍拍动参数测量实验打下了基础，为机器鱼仿生推进设计理论提供支撑。
1 设计要求和系统结构
根据活体鱼类的生物特征和实验本身的特
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ARM MEMS
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