日本关东德山火灾威胁 NF₃供应，提醒台积电、三星和瑞昱等芯片制造商

彭博社和 nikkan kogyo shimbum 报道。日本工业气体制造商关东德山工业株式会社的氮 trifluoride 生产线发生火灾，引发了对半导体供应链中断的担忧，因为该公司供应的主要客户包括台积电、三星、美光以及日本的铠侠、索尼和瑞昱——这凸显了潜在的广泛影响。

据 nikkan kogyo shimbum 报道，公司正争相从关东德山获取氮 trifluoride (NF₃) 的替代供应，这种气体用于半导体设备清洗和蚀刻工艺。与此同时，日本经济、贸易和产业部据报道正在介入，计划通过扩大从韩国的进口来弥补缺口。

彭博社报道，8月7日，关东电气的三氟化氮工厂在群马县轻井泽发生火灾，造成一名工人死亡。当局在事故损坏了工厂两条生产线中的一条后暂停了运营。

如日经新闻指出，关东电气的受损设施修复并恢复发货可能需要数月，这将加剧六氟化钨（WF₆）的供应问题，而六氟化钨是由 NF₃制成，对芯片中的金属导线形成至关重要。

根据彭博社报道，关东电气生产了日本 90%的三氟化氮。由于成本上升和激烈的价格竞争，三井化学公司计划于 2026 年 3 月退出生产，届时关东电气将成为该国唯一的重点供应商。

对主要客户的影响

该事件引起了广泛关注，因为该公司的客户包括全球芯片制造巨头。据日刊报道，台积电的熊本工厂（熊本县菊池市），该工厂于 2024 年开始运营，从多个供应商处获取 NF₃，其中包括关东电气。

另一方面，日刊报道，铠侠和索尼已经从韩国以及关东电气处获取 NF₃。彭博社指出，铠侠预计不会对生产或 7 月至 9 月的收益产生影响，并引用了多个供应商和库存，而索尼的芯片部门则拒绝评论。

值得注意的是，日刊强调了日本瑞昱的担忧，因为它似乎完全依赖关东电气。报告暗示该公司正急于确保未来原型设计和批量生产不受影响。