上下二层是玻璃体，中间是硅片，其应力硅薄膜上部有一真空腔，使之成为一个典型的绝压压力传感器。为了便于TPMS接收器的识别，每个压力传感器都具有32位独特的ID码，它可产生4亿个不重复的号码。
压力传感器芯片制作工艺流程
压力传感器芯片制作工艺流程如下图所示：
图3 工艺流程示意图
压力传感器由具有压阻效应的敏感元件构成测量电桥，当受外界压力作用时，电桥失去平衡，产生输出电压。
总结
本文简单介绍了压力传感器芯片的分类、制作工艺流程等知识，并以压力传感器芯片SCA2095为例分析了其原理，同时就对于MEMS硅压阻式压力传感器芯片结构的知识也做了相应的概括。
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