Brewer Science发布新型光感化合物专利 用于MEMS器件制造 作者: 时间:2010-04-27 来源:电子产品世界 加入技术交流群 扫码加入和技术大咖面对面交流海量资料库查询 收藏 半导体及微电子市场高新技术创新公司Brewer Science宣布公司在美国获得了一项新专利,该专利是关于一种新型光感化合物,在MEMS器件的制造过程中可用作保护层。
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