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氮氧化硅 文章 进入氮氧化硅技术社区

台积电率先推出28纳米低耗电平台

  •   台湾积体电路制造股份有限公司今(17)日宣布领先专业积体电路制造服务领域,成功开发28纳米低耗电技术,同时配合双/三闸极氧化层(dual/triple gate oxide)工艺,将32纳米工艺所使用的氮氧化硅(Silicon Oxynitride,SiON))/多晶硅(poly Si)材料延伸至28纳米工艺,使得半导体可以持续往先进工艺技术推进。此一工艺技术的优势还包括高密度与低Vcc_min六电晶体静态随机存取记忆体(SRAM)元件、低漏电电晶体、已通过验证的传统类比/射频/电子熔线(analog
  • 关键字: 台积电  SRAM  28纳米  低耗电  氮氧化硅  多晶硅  
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氮氧化硅介绍

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