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Cymer发布EUV光源技术路线图

  •   光源对于光刻机的重要性不言而喻,没有光源的匹配,一切图形成像都无从谈起。从1986年开始,Cymer正式进入半导体产业,目前已有超过3500套光源安装在世界各地的光刻设备上。Cymer所占的市场份额已近70%,俨然已成为世界光源制造领域的领头羊。  
  • 关键字: Cymer  EUV光源  OLED  

中国32nm技术脚步渐近

  •   32nm离我们还有多远?技术难点该如何突破?材料与设备要扮演何种角色?10月28日于北京举办的先进半导体技术研讨会即围绕“32nm技术发展与挑战”这一主题进行了探讨。   32nm节点挑战无限   “45nm已进入量产,32nm甚至更小的22nm所面临的挑战已摆在我们面前。”中芯国际资深研发副总裁季明华博士在主题演讲时说,“总体来说,有四个方面值得我们注意。首先是CMOS逻辑器件如何与存储器件更还的集成在一起;其次是SOC技术的巨大挑战,
  • 关键字: Cymer  32nm  光刻  

设备市场获改善 Cymer、KLA-Tencor调升预测

  •   晶圆设备市场正在得到改善。   Cymer和KLA-Tencor分别调升了各自的预期。周一,光源供应商Cymer称目前公司预计第三季度收入将较第二季度的6200万美元增长30%。新光刻技术光源需求获得了增长。   据悉,该公司此前的预期是第三季度收入增长15%。   上周,KLA-Tencor同样也调升了预期。“我们继续看好第三季度的增长,主要受代工厂和存储芯片商的带动,亮场检测使用的越来越多。”分析师指出。
  • 关键字: Cymer  晶圆设备  存储芯片  
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