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电子束 文章

半导体制造的工艺与材料发展趋势

  • 应用将持续驱动芯片业的发展。摩尔定律将继续演进,但形式正发生变化,从注重特征尺寸的缩小,正转变到同时关注材料和结构创新。预计中国半导体市场10年内翻番,将带来半导体制造的兴盛。为了迎接10nm以下的挑战,应用材料公司近期推出了三款新产品。
  • 关键字: 晶圆  材料工程  设备  刻蚀  电子束  201612  

示波器的原理及应用

  •   导读:示波器是一种用途十分广泛的电子测量仪器。它能把肉眼看不见的电信号变换成看得见的图象,便于人们研究各种电现象的变化过程。它是观察数字电路实验现象、分析实验中的问题、测量实验结果必不可少的重要仪器 示波器的原理及应用--工作原理   示波器利用狭窄的、由高速电子组成的电子束,打在涂有荧光物质的屏面上,就可产生细小的光点。在被测信号的作用下,电子束就好像一支笔的笔尖,可以在屏面上描绘出被测信号的瞬时值的变化曲线。利用示波器能观察各种不同信号幅度随时间变化的波形曲线,还可以用它测试各种不同的电量,如
  • 关键字: 示波器  电子束  示波器的原理  示波器的原理及应用  

CRT显像管电子束着屏斑点的仿真分析

  • 电子产品世界,为电子工程师提供全面的电子产品信息和行业解决方案,是电子工程师的技术中心和交流中心,是电子产品的市场中心,EEPW 20年的品牌历史,是电子工程师的网络家园
  • 关键字: CRT  仿真  电子束  CST  

采用电子束检测技术辅助晶体管开发

  • 涉足尖端技术研究工作的芯片制造商正在把无数新材料和奇特的器件结构结合起来,用于65nm及更低节点的量产。同时他们发现,在这些研究上的努力生产的结果还包括目前必须着手解决各器件各个层上出现的越来越多的细微的
  • 关键字: 电子束  检测技术  辅助  晶体管    

电子束焊机用高压电源中的PLC控制系统的设计

  • 摘要:介绍了电子束焊机用高压电源及其控制系统的要求,根据PLC控制技术的特点,设计了控制系统的硬件电路及其相关软件。试验表明:控制系统的硬件、软件工作可靠,满足电子束焊接工艺之需要。 关键词:可编程控制器
  • 关键字: 控制系统  设计  PLC  电源  焊机  高压  电子束  

一种120kV电子束焊机用的高压直流电源装置

  • 摘要:介绍了双金属锯带电子束焊机用的高压直流电源装置的技术要求,结合电子束焊机用高压电源的特点,提出一种真空管直接调整式高压直流电源装置。详细介绍了电源的主电路结构和控制电路的工作原理。经试验和现场运
  • 关键字: 直流电源  装置  高压  焊机  120kV  电子束  一种  

KLA-Tencor 推出第十代电子束侦测系统

  •   KLA-Tencor 公司(纳斯达克股票代码:KLAC)今天宣布推出 eS35 电子束侦测系统,该系统能够以大幅提升的速度检测和分类更小的物理缺陷,以及更细微的电子缺陷。eS35 属于 KLA-Tencor 的第十代电子束侦测系统,它具备更高的灵敏度,改善了单机检查和分类,并且显著加强了吞吐能力,以提高 4Xnm 和 3Xnm 设备的良率。   KLA-Tencor 的电子束技术部集团副总裁兼总工程师 Zain Saidin 表示:“电子束侦测对于捕获和发现最小缺陷以及只能通过它们的电子
  • 关键字: KLA-Tencor  电子束  侦测  半导体  微电子  

22纳米后EUV光刻还是电子束光刻?市场看法存分歧

  • 浸润式微显影双重曝光能进一步延伸摩尔定律的寿命至32纳米,不过,22纳米以下究竟哪种技术得以出头,争议不断。据了解,台积电目前正积极研发22纳米以下直写式多重电子束(MEBDW)方案,并已有具体成果,但积极推动深紫外光(EUV)的ASML则表示,目前已有数家客户下单,最快2009年便可出货,但哪种技术最终将「一统江湖」,尚未有定论。     ASML表示,目前深紫外光EUV的光波波长可达13.5纳米,约是248波长的KrF显影设备的15分之1,尽管浸润式显
  • 关键字: 消费电子  EUV  电子束  消费电子  

KLA-Tencor推出新一代电子束缺陷再检查和分类系统

  • KLA-Tencor正式推出新一代晶片缺陷再检查和分类系统 eDR-5200。该系统综合高分辨率图像和高缺陷再检查灵敏度,以及与 KLA-Tencor 光学检测系统的独特连接技术,进而实现更高的再检查效能,更短的良率学习周期和更高的总体系统生产效率。KLA-Tencor 光学检测系统和 eDR-5200 电子再检查系统的独特连接,确保生产 45 纳米及以下的芯片厂每小时能建立更多, 更高品质的缺陷 Pare
  • 关键字: KLA-Tencor  测量  测试  电子束  工业控制  工业控制  
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电子束介绍

【词语】:电子束   【注音】:diàn zǐ shù   【释义】:又称电子注。在真空汇集成束。可采用静电场聚焦,磁场聚焦等方法。电子显微镜和电视机就是利用电子束形成影像的。 [ 查看详细 ]

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