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微机电系统 文章

详解微机电系统,总有你不知道的点

  •   微机电系统(Micro-Electro Mechanical System)是指尺寸在几毫米乃至更小的传感器装置,其内部结构一般在微米甚至纳米量级,是一个独立的智能系统。简单理解, MEMS 就是将传统传感器的机械部件微型化后,通过三维堆叠技术,例如三维硅穿孔 TSV 等技术把器件固定在硅晶元(wafer)上,最后根据不同的应用场合采用特殊定制的封装形式, 最终切割组装而成的硅基传感器。 受益于普通传感器无法企及的 IC 硅片加工批量化生产带来的成本优势, MEMS 同时又具备普通传感
  • 关键字: 微机电系统,MEMS   

MEMS是什么?看完这篇就懂了

  • MEMS是什么?看完这篇就懂了-MEMS全称Micro Electromechanical System,微机电系统。是指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置,其内部结构一般在微米甚至纳米量级,是一个独立的智能系统。
  • 关键字: MEMS  微机电系统  半导体  

MEMS技术概述

  • MEMS成为当今世界的研究热点,各国的科技工作人员将其作为一个独立的边缘学科站展开国际范围内的学术与工程研...
  • 关键字: MEMS技术  微机电系统  机电一体化  

无处不在的微机电系统(MEMS)陀螺仪

  • 想象下你坐在一个以恒定转速旋转着的旋转木马上:你站在它的中心,开始以一个恒定的速度沿着一条直线行走,这...
  • 关键字: 微机电系统  MEMS  陀螺仪  

汽车上mems微机电系统的应用

  • mems(微机电系统)传感器;有三项MEMS技术产品:红外传感器、磁性传感器、测角传感器;在高档汽车中,大约采用25...
  • 关键字: 微机电系统  磁性传感器  发动机  

基于微机电系统的无线鼠标方案

  • 1 系统原理与设计  1.1 检测原理  目前,常见的鼠标有2种,滚轮式和光电式。滚轮式鼠标是靠滚轮的传动带动X和Y轴上的译码轮转动,来感测鼠标位移的变化;光电式鼠标是用一个自带光源的光电传感器,跟随鼠标的移
  • 关键字: 微机电系统  方案  无线鼠标    

无惧金融危机 台积电逆市上马MEMS产能

  •   据Digitims网站报道,在全球金融危机的席卷之下,多数厂商都不得不放缓了扩张的步伐,转而开始进入退守以节约资金挨过寒冬。不过对于优秀的厂商和优秀的产业来说,永远都不会缺乏关注,日前就有消息透露台积电将进一步提高在微机电系统(Micro Electro-Mechanical Systems,MEMS)业务领域的研发力度。   据晶圆生产设备及材料供应商方面的消息透露,台积电目前就在按部就班为旗下Fab 8晶圆厂安装微机电系统生产新设备,该公司在微机电系统服务领域的部署并未受到全球经济下滑因素影
  • 关键字: 金融危机  晶圆  MEMS  微机电系统  

汽车MEMS传感器应用及发展

  • 本文通过大量的文献资料,评述汽车MEMS(微机电系统)传感器的应用现状及发展趋势,其中重点介绍几种传感器的原理和结构,同时对该领域的产业化也进行了探讨。
  • 关键字: 汽车传感器  微机电系统  力敏器件  

加速度计与MEMS明日之星

  •   微机电系统(MEMS)在发展了近四十年后,近来因为游戏机(Wii、PS3)、手机(iPhone)、MP3(iPod touch)等消费性电子产品的应用,终于划下时代性的一刻,成功打入产量最大的消费性市场。这对于微机电产业来说无疑是值得庆贺的时刻,因为有太多的研发心力已投入这项将微机械与微电子工程融合的微机电设计诉求之上,如今总算看到令人欣慰的一些成果。   当然,这仍然只是MEMS进军更广泛市场的一个开端,打开这个市场的功臣即是加速度计(accelerometer)。在本文中将会对加速度计的技术及应
  • 关键字: 0712_A  杂志_技术长廊  MEMS  微机电系统  嵌入式  
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微机电系统介绍

  微机电系统是指可批量制作的,集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、直至接口、通信和电源等于一体的微型器件或系统。MEMS是随着半导体集成电路微细加工技术和超精密机械加工技术的发展而发展起来的。MEMS的特点是:   1)微型化:MEMS器件体积小、重量轻、耗能低、惯性小、谐振频率高、响应时间短。   2)以硅为主要材料,机械电器性能优良:硅的强度、硬度和杨氏模量与铁相当 [ 查看详细 ]

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