如何制作低温环境下使用电阻应变式传感器
按有关电阻应变片标准规定，所谓低温环境是指 -30~-160 ° C ，而极低温（或深低温）是指 -162 ° C （液化天然气 LNG ）至液氦（ Lhe ）所能达到温度，本文所涉及低温就是上述极低温或深低温范围。有以下四个方面，此范围内新兴产品部门包括：
(1) 超导应用技术：发电、输电系统，磁悬浮列车等；
(2) 液氢（ LH 2 ， -253 ° C ）相关技术：氢能系统、液氢发动机等；
(3) 原子能：托克马克装置；
(4) 液化天然气应用技术：新能源系统、冷冻部门应用等。
低温技术实用化，必然会引起人们对环境条件下结构安全、可靠性以及经济性等问题注意。必要测量结构及部件低温下应力外，还需要各种适用于低温环境条件下电阻应变式传感器（如低温引伸计和低温应力传感器等），测定各种结构部件材料低温下力学性能，以及监测应用过程中各种压力变化等，为产品结构质量和设备运行安全提供可靠保证。
低温环境特殊性，一般市售电阻应变式传感器都不适用于低温环境，加之低温传感器用量又特别少，工作中必须实际需要环境和条件，自行进行研制设计各种电阻应变式传感器。本文主要介绍研制设计各种低温电阻应变式传感器时应注意几个问题，以供参考。
二、制作低温电阻应变式传感器应注意若干问题
低温电阻应变式传感器基本结构形式与同类常温用电阻应变式传感器基本相同，选材、应用工艺等方面应低温应用环境特殊性来加以选择，通常应注意以下几个方面。
1 、传感器弹性体设计和材料选择
低温电阻应变式传感器弹性体设计准则基本与各类高温用电阻应变式传感器相同。传感器精度要求，使用寿命及输出灵敏度等，弹性体应变量一般控制 800~1500 m m/m 范围内。各种典型弹性体结构计算式列于表 1 。
弹性体材料，要求其低温范围内，具有良好弹性，高抗拉强度，高疲劳寿命以及低温下不发生脆性断裂等。，一般来说常温用弹性体材料大都可以选用。但目前，压力传感器常选用不锈钢、铝合金、铍青铜及殷钢等，而引伸计等传感器可选用铍青铜、钛合金等材料。
2 、低温电阻应变片
低温应变片是低温电阻应变式传感器关键敏感元件，其性能影响着传感器各项性能指标。低温应变片通常是由基底、敏感栅、胶粘剂及覆盖层等部分组成。各组成元件材料性能又直接影响着低温应变片基本性能。
表 1 各种典型弹性体结构应变计算公式 
电阻应变式传感器是由胶粘剂粘贴传感器弹性体上，当外力作用下，弹性体发生变形时，弹性体变形胶粘剂层传递到敏感栅上，引起敏感栅材料电阻发生变化，其电阻变化值与弹性体所受外力之间是呈线性关系，测量电阻变化值即可知弹性体所受外力。
传感器来说，通常都要求所用应变片热输出值小，这样才能保证精度和稳定性，选择制作应变片敏感栅材料时，必须使其与弹性体材料线膨胀系数相匹配，即： (2)
上式也是制作各种温度自补偿应变片选材基本关系式。
Kanfman 研究报告 [6] 指出了各种电阻合金低温下热输出，典型结构如图 1 所示。图中示出了 Advance （ Cu-Ni 合金）、 Karma 、 Budd 合金、 Nichrome V （ Ni-Cr 及 Ni-Cr 改性合金）、稳定化 Armour D(Fe-Cr-Al 合金 ) 特性，从室温至 4.2K(LHe) 范围，各种敏感元件具有各有不相同温度特性。 Cu-Ni 合金（康铜、 Advance ）元件应变片低温下有很大热输出。而基底相同时，由 Karma 、 Nichrome V 制成应变片热输出则比 Cu-Ni 合金小。由图可见 10~20K 温度范围，各种应变片热输出具有最小值。研究表明，镍铬改良型合金（如 Karma 等）其电阻温度系数可以合金组分和热处理工艺进行调整，便于制成适用于各种不同弹性体材料和温度自补偿应变片，目前低温自补偿应变片大都是以 Karma 等合金为敏感栅。
②温度引起灵敏系数变化
应变片电阻变化率与所受应变量之比，通常称为应变片灵敏系数 ( k ) 。它数值与应变片敏感元件几何形状及材料特性有关。一般金属电阻材料，常温时灵敏系数大多约为 2.0 左右。低温环境下，灵敏系数温度降低而增加，各种电阻合金典型性能如图 2 所示。从图可见，大多数电阻合金经受拉伸或压缩时，其灵敏系数是有些差别。而稳定化 ArmourD （ Fe-Cr-Ai 合金）则差别更大。拉伸和压缩时，灵敏系数不一致，会降低传感器输出灵敏度，还会增大传感器非线性误差。，应变测量场合制作低温用电阻应变式传感器，都宜选用拉伸或压缩应变时灵敏系数相差小材料。图中可见，Karma 、 Nichrome V 及 Advance 材料，拉伸和压缩变形之间灵敏系数相差比较小。
③磁场对应变片性能影响
(1)Ni-Cr 系合金（如 Karma 等）制成应变片，其温度变化引起热输出，可以调整合金组分和热处理工艺来改变其电阻温度系数 ( a R ) ，并与传感器弹性体材料线膨胀系数 ( a m ) 相匹配，制成温度自补偿应变片，应变片受拉伸和压缩变形时，两者灵敏系数相差小，传感器受温度变化影响也小，有利于提高传感器低温环境下稳定性；
(2)Cu-Ni 系合金灵敏系数随温度降低而降低，而 Ni-Cr 系合金灵敏系数则温度降低而升高。这种倾向与传感器弹性体材料弹性模量 ( E ) 随温度降低而升高趋向是一致，有利于传感器灵敏度 ( 量程 ) 补偿。另外， Ni-Cr 系合金制作应变片灵敏系数，室温至 200K 时，呈线性增加，而后则缓慢增加， 100K 以下时，其变化则相当小。由此制成传感器，其输出灵敏度变化也是呈如此规律。标定温度对灵敏度变化影响时，标定室温至 100K 范围内变化，而 100K 以下则可认为是不变，即可 100K 时灵敏度表示该传感器 100K 以下时灵敏度；
(3) 磁场对 Pt-W 合金影响，比对 Ni-Cr 系合金影响小多，但价格昂贵和温度特性差而不宜用作一般传感器。而 Karma 合金应变片，磁场强度 1t 以下时呈负输出，尔后，随磁场增加而呈正线性变化。传感器标定可以保证一定精度范围。
胶粘剂和防护剂对低温电阻应变式传感器性能有直接关系。特别是胶粘剂，它对传感器尤为重要。大量试验证明：
(1) 低温应变片基底材料，一般都采用聚酰亚胺膜是以玻璃纤维增强环氧 - 酚醛胶膜为宜，这些材料低温下收缩率小，柔性好，与胶粘剂之间粘合效果也好。
(2) 粘贴应变片胶
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