压电振动板电极变色了，用前一定仔细检查 | 图解MEMS压力传感器分类及应用

1 压电振动板的电极部分变色 (从银色变成茶色)，会否影响产品性能?

DK工程师建议：

压电振动板的电极是用银造成，银与空气中的硫磺成分发生化学反应导致变色。这种情况下，会对可焊性产生不良影响，所以请先确认可焊性再进行使用。

另外, 如果用手触摸振动板，会留下指纹，这会导致生锈。请戴指套或者手套后再进行处理。

如果发生这情况, 可以尝试改变电容器的引脚间距，否则勉强插入时, 电容器很大机会承受过大的机械应力而造成损害.

2 什么是 MEMS 压力传感器( MEMS pressure sensors)? 一般有多少类型及在应用上有什么特点?

DK工程师建议：

MEMS全称是Microelectromechanicalsystem (微机电系统)， 其原理是结合半导体制程技术与精密机械技术，来制造微小元件及功能整合的微系统。MEMS压力传感器大致可分三大类型:

1）压力计压力测量(GaugePressure Measurement)， 如下图1，原理是传感半导体物料与大气互通作比较，以大气压力作为参考点(reference)。

2）绝对压力测量(AbsolutePressure Measurement)， 如下图2，原理是传感半导体物料存在于真空中, 以真空作为参考点(reference)。

3）分差压力测量(Differentialpressure measurement)，如下图3，原理是计算内外传感半导体物料的数据差距。

压力计压力测量方法是最基本的，它以海平面的标准大气压为标准(14.696 psi或760mmHg)，当感测到相同压力，表示感测面器件是在正常环境压力，由于应用简单及直接，最常使用，但大气压力会随着高度及天气、温度的变化而改变，故工程师要考虑这点。在高度变化的环境下, 绝对压力测量是最常被采用的，但其缺点是运算原理复杂。

分差压力测量一般应用在液体压力上，基本原理简单且容易应用, 但也会受温度的变化影响而造成误差。