LTPS
什么是低温多晶硅:
低温多晶硅LTPS是Low Temperature Ploy Silicon的缩写,一般情况下低温多晶硅的制程温度应低于摄氏600度,尤其对LTPS区别于a-Si制造的制造程序“激光退火”(laser anneal)要求更是如此。与a-Si相比,LTPS的电子移动速度要比a-Si快100倍,这个特点可以解释两个问题:首先,每个LTPS PANEL 都比a-Si PANEL反应速度快;其次,LTPS PANEL 外观尺寸都比a-Si PANEL小。下面是LTPS与a-Si 相比所持有的显著优点:
1、 把驱动IC的外围电路集成到面板基板上的可行性更强;
2、 反应速度更快,外观尺寸更小,联结和组件更少;
3、 面板系统设计更简单;
4、 面板的稳定性更强;
5、 解析度更高,
激光退火:
p-Si 与 a-Si的显著区别是LTPS TFT在制造过程中应用了激光照射。LTPS制造过程中在a-Si层上进行了激光照射以使a-Si结晶。查看更多>>