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超高精度隧道式硅微加速度计反馈控制电路设计*

• 　　隧道加速度计的制备和检测原理 　　典型隧道加速度计由隧尖、质量块、支承梁、驱动电极、隧尖对应电极以及相应的反馈控制电路组成，其基本结构图和工作原理框图如图1所示；图2显示的是北京大学微电子研究院微米纳米加工国家重点实验室使用MEMS标准工艺加工出来的基于电子隧道穿通的加速度计以及封装形式。 　　根据量子力学的隧道原理，当隧道针尖和对电极原子间的间距小到纳米量级时，电极和针尖中的电子都有一定的几率跨越隧道势垒到达对方的，在电极偏压的作用下，电子从隧道针尖到对电极的透射几率加强；同时，抑制了电
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