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防微振技术使精密生产成为可能

• 　　防微振技术广泛应用于电子工业的各个领域，从而保证精密设备能在各种复杂的振动环境下正常工作。 　　电子工厂设计中的一个重要环节是微污染控制。电子工业是精密制造业，由于科技进步的日新月异，制造精度已达到了纳米级。以集成电路为例，制版、光刻等工序需将环境微振动控制在VC-E或VC-F级，即振动速度应小于3μm/s或1.5μm/s。对于TFT-LCD、LED(发光二极管)及OLED(有机发光二极管)来说，也有较严格的微振动控制要求，如曝光机、涂布机等在自身会产生振动的情况下，要保证设备基台的振动
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