- KLA-Tencor日前发布业界最先进的高分辨率表面轮廓测量系统 HRP-350，使测量能力扩展至 45 纳米半导体器件。这个新设备配备半径低至 20 纳米的钻石探针和低噪音平台，从而提高了测量灵敏度，并使芯片生产商能够监控极其细微的横向和纵向尺寸。除这些突破之外，该系统还拥有更高的扫描速度，因而能在多种关键性晶体管和互连应用中提升系统生产能力。
“随着半导体器件的更新换代，在重要的蚀刻和化学机械抛光工艺中，形貌控制要求也越发严格。我们的客户需要一种单一系统解决方案，既可支持影响良率的纳米级应
- 关键字：
测试 测量 KLA-Tencor 表面轮廓测量系统 HRP-350 测试测量
表面轮廓测量系统介绍
您好，目前还没有人创建词条表面轮廓测量系统!
欢迎您创建该词条，阐述对表面轮廓测量系统的理解，并与今后在此搜索表面轮廓测量系统的朋友们分享。
创建词条
关于我们 -
广告服务 -
企业会员服务 -
网站地图 -
联系我们 -
征稿 -
友情链接 -
手机EEPW
Copyright ©2000-2015 ELECTRONIC ENGINEERING & PRODUCT WORLD. All rights reserved.
《电子产品世界》杂志社 版权所有 北京东晓国际技术信息咨询有限公司
京ICP备12027778号-2 北京市公安局备案：1101082052 京公网安备11010802012473
