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宽带 低噪声 放大器 薄膜混合集成电路 共晶工艺
薄膜混合集成电路介绍
在同一个基片上用蒸发、溅射、电镀等薄膜工艺制成无源网路,并组装上分立的微型元件、器件,外加封装而成的混合集成电路。所装的分立微型元件、器件,可以是微型元件、半导体芯片或单片集成电路。
按无源网路中元件参数的集中和分布情况,薄膜集成电路分为集中参数和分布参数两种。前者适用范围从低频到微波波段,后者只适用于微波波段。
特点与应用 与厚膜混合集成电路相比较,薄膜电路的特点是所制作的元件 [
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