- 由北京中科信电子装备有限公司自主研发的300mm/65nm大角度离子注入机进入中芯国际(北京)集成电路制造有限公司，开始接受国际主流生产线的技术测试与器件工艺检验，为这一国产集成电路制造装备实现重大技术跨越作最后的冲刺。
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中科信 离子注入机
- 由北京中科信电子装备有限公司自主研发的300mm/65nm大角度离子注入机进入中芯国际(北京)集成电路制造有限公司，开始接受国际主流生产线的技术测试与器件工艺检验，为这一国产集成电路制造装备实现重大技术跨越作最后的冲刺。这是国产高端离子注入机首次进入300mm主流生产线，表明国内的离子注入机研制已经逐步达到世界主流技术水平。
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离子注入机 300mm晶圆
- 9月底，日本日新离子机株式会社与扬州经济技术开发区签订了合作协议。日新株式会社将在扬州经济技术开发区投资兴建离子注入机设备生产厂。这是日新首个在日本国土外设立的生产基地。市委书记王燕文会见了前来签约的日新株式会社社长长井宣夫并见证了签约仪式。市委常委、秘书长卢桂平参加相关活动。
据了解，日新离子机株式会社是世界三大离子注入机供应商之一。截至2009年，公司产品占日本市场的90%左右，约占亚太市场的53%。日本东芝、NEC，韩国三星，以及台湾台积电、联电、茂德和力晶，大陆海力士、中芯国际、华虹NE
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日新 离子注入机
离子注入机介绍
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