- 12月21日,《中国科学报》报道,上海交通大学教授肖文德领衔研发的具有自主知识产权的硅烷大规模生产新技术600吨/年中试生产项目,在河南平煤神马集团试车成功,并已连续稳定生产出纯度大于99.9999%的高品质硅烷产品。该项目的成功标志着高纯度硅烷大规模生产技术获得突破。
据了解,我国电子和大规模集成电路行业的芯片进口总额去年高达2300亿美元。其中,一个重要原因是缺乏高纯度晶体硅材料,而生产高纯晶体硅必须以高纯硅烷为基础。我国电子工业几十年来一直在寻找高纯硅烷大规模生产的方法,希望扫清中国信息产
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集成电路 芯片 硅烷
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