- 6月18日，记者从沈阳硅基科技有限公司(下称硅基科技)获悉：该企业制造的SOI晶圆，经过全球领先的半导体跨国公司美国德州仪器公司测试，结果显示所有指标均达到客户需求，良品率高达98.3%以上。在此之前，硅基公司的这种产品也通过了中国最大半导体制造商中芯国际的相关测试。中美两大客户认可，标志着我市自主知识产权的SOI产品可以进入量产阶段。
硅片作为最重要、最常用的半导体材料，是芯片生产过程中必不可少的、成本占比最高的材料。因材料关键，一直被发达国家垄断并对我国封锁。SOI晶圆(即绝缘层上硅)是一种
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硅基科技 晶圆
- 据了解，MEMS、纳米技术和半导体市场领先的晶圆键合和光刻设备供应商EVGroup(EVG)在SEMICONChina2011展会期间宣布，公司新客户沈阳硅基科技有限公司订购了一台EVG850LT自动键合系统用于SOI晶圆制造。这家中美合资公司将采用EVG850LT来实现SOI晶圆的大规模量产，该设备已在2010年9月出货。
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硅基科技 晶圆制造
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