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硅升华 文章 进入硅升华技术社区

速度提升百倍 美科学家在4英寸基体上制成石墨薄膜

  •   美国宾夕法尼亚州立大学光电材料中心(Electro-Optics Center Materials Division:EOC)的研究人员最近成功地在4英寸(100mm)大小的基体上制成了石墨薄膜,这种石墨薄膜是由碳原子组成的平面薄膜,薄膜的厚度极薄,只有1-2个碳原子的厚度,相比传统外延生长出来的硅膜,石墨薄膜内部的碳原子组织结构能够极大地提高电路的电性能,电路的运行速度可达硅电路 的100倍。   由于在硅基体上直接生成石墨薄膜时,很难保证薄膜内部碳原子结构的一致性,因此过去科学家制造石墨电路的方
  • 关键字: 硅电路  石墨薄膜  硅升华  
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