- 近日,应用材料公司宣布为200mm CMP(化学机械研磨)系统推出创新的Applied DuraPad CMP(化学机械研磨)抛光垫技术 。DuraPad的使用寿命比现有的研磨垫至少延长了30%,有效地增加了机台的有效使用时间,替客户节约了可观的拥有成本。在DuraPad制造过程中采用先进的six-sigma 制造技术保证了研磨垫不同批次之间性能的一致性,从而确保获得良好的CMP研磨效果。 应用材料公司全球服务部总经理兼资深副总裁Manfred
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工业控制 化学机械 研磨抛光垫技术 应用材料公司 工业控制
研磨抛光垫技术介绍
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