盛美半导体设备(上海)有限公司日前在 Semicon China上宣布了2013年第一季度一举获得两台单片背面清洗机订单，分别来自上海华虹 NEC 电子有限公司以及中科院微电子所。这两台背面清洗机的订单，反映了盛美在技术上不断推陈出新，填补了国内单片背面清洗机的空白。通过技术上的不断创新，提高了公司的核心竞争力。
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盛美 单片背面清洗机 晶圆
盛美半导体设备(上海)有限公司3月17日在上海举行的中国半导体国际展上展出一台12英寸单片兆声波清洗设备。这是国内首台具有自主知识产权的“零损伤”兆声波半导体清洗设备。
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盛美 半导体 兆声波
3月17日，新成立的盛美半导体(上海)有限公司在中国半导体国际展上展出了十二英寸单片兆声波清洗设备，本设备用于65nm技术节点以下的十二英寸高端硅片清洗。盛美独家具有自主知识产权技术可使兆声波能量在12英寸硅片上非常均匀地分布(非均匀度的一个均方差小于2%)，本技术在不损伤硅片微结构的条件下使颗粒去除效率达到99.2%。
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盛美 半导体
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